בתחום ייצור המוליכים למחצה או הגביש הנוזלי, שילוב המכשירים גדל בשנים האחרונות. בייצור של מכשיר שנקרא מעגל משולב בקנה מידה גדול מאוד, דפוס עדין של 1 מיקרון או פחות נדרש. בתהליך ייצור כזה, אבק דק או כמות קטנה מאוד של זיהומי גז מופקדים או סופחים על דפוס החיווט, וכתוצאה מכך כשל מעגלי. לכן, יש צורך כי הן גז תגובה וגז נושא עם טוהר גבוה, כלומר, רק כמה חלקיקים זיהומי גז, יכול להתקיים בגזים אלה. מסיבה זו, יש צורך צינור נימי נירוסטה או חבר להשתמש בגז כזה עם טוהר גבוה, ואת פני השטח הפנימיים שלה משמש מזהם לפלוט מזהמים, עם רק כמות מינימלית של חלקיקים וגז. בנוסף לגזים אינרטיים כגון חנקן וארגון, גזים רבים הנקראים גזים מיוחדים משמשים גם כגזים לייצור מוליכים למחצה. דוגמאות לגזים מיוחדים כוללות גזים מאכלים כגון כלור, מימן כלורי ומימן ברומיד, וגזים לא יציבים מבחינה כימית כגון סחף. הראשון דורש עמידות בפני קורוזיה גז, בעוד האחרון דורש ביצועים שאינם קטליטיים.
עד כה, על מנת להפחית את התצהיר או ספיחה של אבק או מים, פני השטח הפנימיים של החלק המשמש לייצור גז מוליכים למחצה כבר החלק עד חספוס פני השטח Rmax שלה הוא 1 מיקרון או פחות. ציור קר, ליטוש מכני, ליטוש כימי, ליטוש או שילוב שלו יכולים לשמש כשיטה להחלקת המשטח הפנימי או חלקים של הצינור. עם זאת, חומר חלק מאוד עם ערך של 1 מיקרון או פחות מתקבל בעיקר על ידי ליטוש אלקטרוליטי. המשטח הפנימי של הצינור או דומה הוא חלק, ולאחר מכן ניקה עם מים טוהר גבוה מיובש עם גז טוהר גבוה כדי להשיג את המוצר הסופי.
ריתוך משמש בדרך כלל בעת ריתוך. הסיבה לכך היא ריתוך יכול להבטיח חוזק גבוה והידוק אוויר טוב של הצינור. בהנחת צינורות, גז אינרטי טוהר גבוה, בדרך כלל ארגון, משמש גז מגן, ואת פני השטח הפנימיים שלה הוא יצר קשר עם גז טוהר גבוה דרך הצינור כדי למנוע חימום חלק זיהום חמצון לטמפרטורות גבוהות ככל האפשר. בנוסף, בהנחת הצינור, הצינור מנוקה עם ארגון טוהר גבוה או חנקן כדי להסיר חלקיקים אלה ועדיין להישאר בצינור. כאשר הצינור ארוך ומסובך, כגון צינור, זה לוקח כמה ימים עד כמה שבועות. לאחרונה, הפחתת עלויות בהקמת מפעל לייצור מוליכים למחצה ותפעול מוקדם של המפעל נדרשה מאוד. על מנת לעמוד בדרישות אלה, יש צורך כעת לקצר את זמן הניקיון.
בנוסף למאפיינים הנ"ל, הצינור וחברי גז טוהר גבוה צריכים להיות בעלי יכולות ריתוך, השטח המשותף הנדרש לחותמות מכניות, ועמידות ללבוש; כאשר חלקים כגון המפרקים הם במכונה, חולשת Mach נדרשת. מצד שני, ידוע כי גזים מיוחדים עם עמידות בפני קורוזיה ותכונות שאינן קטליטיות, הנדרשים לייצור צינורות מוליכים למחצה או גזים דומים, ניתן לשפר על ידי חימום פני השטח של נירוסטה באופן כזה אווירה, באטמוספירה כזו, הלחץ החלקי של חמצן נשלט. ראוי לציין כי החומר האובייקטיבי של הצינור מדווח כמו SUS 316L נירוסטה בספרות זו.
ההתנגדות הנדרשת לקורוזיה וביצועים לא קטליטיים הנ"ל אינם מיועדים רק לצינורות גז. אותו ביקוש עשוי גם נירוסטה המשמשת בציוד שונים לייצור מוליכים למחצה, אחד מהם יש עיבוד רקיק בסדר. נירוסטה אוסטינית, בפרט, סוג SUS 316L משמש בעיקר כחומר עבור צינורות וחברי ציוד אחרים. יפנית Kokai פטנט פרסום מס '161145/1988 חושף נירוסטה אוסטינית לא סטנדרטית ונקייה של צינורות פלדה המשמשים בחדרים נקיים. תכלילים שאינם מתכתיים מגבילים את הפחתת תכולת המנגן, הסיליקון, האלומיניום והחמצן, ובכך מפחיתים את ייצור החלקיקים מפני השטח הפנימיים של הצינור.
בנוסף, יפן פרסמה פרסום פטנט מס '198463, 1989/, אשר חושף חבר נירוסטה עבור ציוד לייצור מוליכים למחצה. חברים אלה מחמצנים גז לאחר ליטוש אלקטרוכימי של נירוסטה. בתנאים מסוימים, שכבת תחמוצת עם עובי של 100 עד 500 אנגסטרום נוצרת על זה מחומם באופן כזה כי מספר אטומי Ni בחלק החיצוני הוא פרופורציה